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SKCC-DHHY-X高真空多弧溅射弧源
FF-3200/3000磁悬浮涡轮分子泵
FF-250/2300磁悬浮涡轮分子泵
FF-200/1400磁悬浮涡轮分子泵
FF-250/2000型涡轮分子泵
FF-200/1300型涡轮分子泵
FF-160/700型涡轮分子泵
FF-100/300型涡轮分子泵
2FF-100/150型涡轮分子泵
FF-63/80型涡轮分子泵
FF-40/25型涡轮分子泵
SKCC-GZB-X高真空磁控溅射永磁靶头（公、自旋转靶头）
SKCC-ZZB-X高真空磁控溅射永磁靶头（自旋转靶头）
方形真空腔体
球形真空腔体
异形真空腔体
筒形真空腔体
U形真空腔体
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